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超純水設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片行業(yè),具有廣闊的發(fā)展前景

2023-08-28

  芯片制造對水質(zhì)的要求是十分苛刻的,對于大眾來說,平時接觸的自來水(飲用水)的渾濁度小于1NTU(根據(jù)現(xiàn)行《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB5749-2022)。這樣的自來水在肉眼看來,就已經(jīng)非常干凈了。但是,這在電子行業(yè),尤其是芯片制造領(lǐng)域,還差得很遠(yuǎn)很遠(yuǎn)。在芯片生產(chǎn)過程看來,自來水里面雜質(zhì)多到什么程度?就好比是一鍋粥!所以,芯片行業(yè)需要對生產(chǎn)用水進(jìn)行苛刻的純化處理。

  第一層次——去離子水:采用物理、化學(xué)方法,去除溶于水中的電解質(zhì),獲得電阻率在0.1~10MΩ·cm的水(真正純凈的水可被視為絕緣體,生活中的水導(dǎo)電,是因?yàn)槠渲杏须s質(zhì))。這個過程去除了水中的電解質(zhì),但溶于水中的非電解質(zhì)(如有機(jī)物、微生物、顆粒物、溶解性氣體等)大部分未被去除。

  第二層次——純水:采用物理、化學(xué)方法,去除了水中的幾乎全部電解質(zhì)與非電解質(zhì),且水中陽離子和陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物等含量受到一定控制。此時,純水的電阻率在10~18.2MΩ·cm(25℃),可以被視其為絕緣體了。

  第三層次——超純水:如果將水中陽離子、陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物都進(jìn)行嚴(yán)格控制,這還不算完,再對水中溶解氣體進(jìn)行嚴(yán)格控制,此時水的電阻率達(dá)到18.2MΩ·cm(25℃)以上(接近理論值18.25MΩ·cm,25℃時)。

超純水設(shè)備
超純水設(shè)備

  萊特萊德上海水處理公司超純水設(shè)備結(jié)合膜分離技術(shù),利用反滲透結(jié)合EDI裝置制備超純水,出水電阻率可達(dá)18.2MΩ.cm(25℃),滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)用水的需求。同時,設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),以確保設(shè)備的出水水質(zhì)。同時,EDI處理裝置產(chǎn)生的廢水較少,不會污染環(huán)境,具有較高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益,具有廣闊的發(fā)展前景。

  超純水設(shè)備具有連續(xù)出水、無需酸堿再生和無人值守、安裝簡便、操作方便等優(yōu)勢,出水水質(zhì)符合電池用水相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),為半導(dǎo)體用水保駕護(hù)航。隨著超純水設(shè)備技術(shù)不斷完善,開啟了各行業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的新局面。許多企業(yè)在生產(chǎn)過程中對水質(zhì)純度有不同的要求,并得到了廣泛的應(yīng)用,如清洗設(shè)備用水、精密產(chǎn)品生產(chǎn)用水、檢測用水等。

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  編輯:微笑女王  技術(shù):木子

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